感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统-招标公告

感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目已具备招标条件。资金来源自筹资金。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物

1.2 招标编号：0779-21400316A008

1.3 设备组成与技术性能：

1.3.1 设备组成

设备主要由以下几部分组成：反应腔、下电极、上电极（ICP源）、射频源、真空系统、预真空室、气路系统、控制系统与软件、配套附件等。

1.3.2 技术性能

1.3.2.1 反应腔

（1）上、下电极之间的距离可电动调节、以优化工艺；

（2）反应腔采用双层进气，配置单独的SiH₄进气环。

1.3.2.2下电极

样品尺寸：最大8英寸直径晶圆、向下兼容更小的晶圆片或不规则碎片；不同尺寸样片之间的切换，无需开腔、无需破真空。

1.3.2.3上电极（ICP源）

采用平板式天线。等离子体密度可到1E12 cm^-3。

1.4 数量：1台（套）。

1.5 交货期：合同签订后6个月内交货。

1.6 项目现场：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

2.2 本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供授权书。

2.3 本次招标要求所投产品制造商2018年至今订不少于2台（套）感应耦合等离子体化学气相沉积系统供货合同，提供合同复印件作为证明。

2.4本次招标不接受联合体投标。

2.5投标人必须向招标代理机构

3. 招标文件获取

3.1 支付成功后在航空工业电子采购平台电子招投标专区自行下载招标文件。

3.3 投标人必须在航空工业电子采购平台电子招投标专区注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见航空工业电子采购平台电子招投标专区相关说明）。

4. 投标文件的递交

4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2021年03月30日09时30分，投标人必须在此时间前将加密的电子版投标文件传至航空工业电子采购平台电子招投标专区（ /rest/index）并在此时间前现场递交单独密封的纸质版投标文件。

4.2 纸质版投标文件递交地点为 大楼一层会议室。逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

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来源：中国电力招标采购网 编辑：365trade.co