1、招标条件
项目概况: 对下列产品及服务进行国际公开招标：硅深槽刻蚀系统、低应力LPCVD设备、检查显微镜、匀胶显影机、背金工咨询电话18811547188艺系统。
资金到位或资金来源落实情况:资金已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0618-214TC210200V/01
招标项目名称:硅深槽刻蚀系统
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 硅深槽刻蚀系统 | 1 | *2.4.3三个工艺腔同等工艺条件下，工艺指标偏差≤3% | 包1 |
| 2 | 低应力LPCVD设备 | 1 | * 3.1.4 每根工艺管产能100片/炉 | 包2 |
| 3 | 检查显微镜 | 3 | *3.2.1. 晶圆尺寸：6寸（兼容8寸） | 包3 |
| 4 | 匀胶显影机 | 1 | *盒站数量：2个 | 包4 |
| 5 | 背金工艺系统 | 1 | *电子束蒸发台设备：颗粒度增量：小于30个/片（>0.5μm） | 包5 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:包1：硅深槽刻蚀系统：
资质要求：
1．投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；
2．具有设备技术支持和服务能力；
3．提供满足该标书技术要求的具体设备型号、指标、说明书；
4．应标型号同类型设备5台及以上最终用户名单、启用时间、使用情况说明。
试样要求：
招标人有权利依次对满足标书要求的设备进行样品试制。
包2：低应力LPCVD设备
资质要求：
1．投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；并且具有设备技术支持和服务能力。
2．近5年内，国内MEMS行业低应力氮化硅工艺相关设备4台以上销售业绩，提供复印件备查。
试样要求：
招标人有权利依次对满足标书要求的设备进行样品试制。
包3：检查显微镜
资质要求：
投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；并且具有设备技术支持和服务能力。要求近3年同品牌同类型全自动设备出货量大于100台，竞标品牌原厂出货量可视同代理商出货量。
包4：匀胶显影机
资质要求：投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；并且具有设备技术支持和服务能力。聚酰亚胺全自动同类型设备3年内出货量大于10台，提供相应证明材料。
包5：背金工艺系统
资质要求：
投标人可以是设备制造厂家，或具备二手设备翻新经营资质的厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；具有设备技术支持和服务能力。
翻新要求：
如设备为二手翻新设备，提供设备出厂时间、设备使用历史。必须满足招标文件主要技术指标中翻新要求。全新设备不受此限制。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2021-02-03
招标文件领购结束时间:2021-02-10
是否在线售卖标书:否
评标结果将在必联网和 公示。
7、联系方式
招标人:北方电子研究院安徽
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！
项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：chinabidding.co