蒸发溅射仪-招标公告

蒸发溅射仪项目已具备招标条件。资金来源自筹资金。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物

1.2 招标编号：0779-21400316A006

1.3 设备技术性能：

1.3.1进样室

（1）进样室可放置5片直径150mm的样品，并可放置5个样片支架；腔室前开门，易于装载样片；

（2）带有样品传输装置，双侧线性传输臂，手动控制模式，熟练程度下，样片从放入进样室到传入镀膜主腔室的时间间隔不超过10分钟。

1.3.2磁控溅射

（1）主泵与腔室之间带有VAT高真空阀；在洁净、干燥环境下，真空度需≤5×10E-7 Torr。

（2）系统需配备2个3英寸磁控溅射靶枪，溅射靶枪可灵活调节，根据用户需求，可调节靶枪角度和最佳蒸镀距离，以达到最佳蒸镀效果。暗区屏蔽装置高度低于靶材表面，减少对辉光区域的束缚，并降低靶材之外材料被同时溅射出来的几率，靶材为卡箍式固定方式，方便更换和固定，配有紧凑式圆顶盖溅射源挡板NdFeB磁阵组合。

（3）系统需配备1个3英寸磁性增强靶，升级版NdFeB磁阵组合，能够沉积高达0.125英寸厚度的材料，支持非磁性材料和磁性材料工作模式的切换。

1.3.3电子束蒸发

（1）系统需配备国际一流品牌机械干泵，风冷，无接触式，气体抽速不小于21cfm；

（2）系统需配备冷凝泵，抽速不小于1500l/s，可通过设备程序远程控制冷凝泵的自动再生，从室温降温到工作温度时间不超过3小时。配备8200型氦气压缩机，10英尺长氦管；

（3）主泵与腔室之间带有VAT高真空阀；在洁净、干燥环境下，真空度需≤9×10E-8 Torr。

1.4 数量：1台（套）。

1.5 交货期：合同签订后11个月内交货。

1.6 项目现场：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。

2.3本次招标要求所投产品制造商2018年至今签订不少于2台（套）磁控溅射系统或电子束蒸镀系统供货业绩合同，提供合同复印件。

2.4 本次招标不接受联合体投标。

2.5 投标人必须向招标代理机构

3. 招标文件获取

3.1 支付成功后在航空工业电子采购平台电子招投标专区自行下载招标文件。

3.3 投标人必须在航空工业电子采购平台电子招投标专区注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见航空工业电子采购平台电子招投标专区相关说明）。

4. 投标文件的递交

4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2021年03月29日14时00分，投标人必须在此时间前将加密的电子版投标文件传至航空工业电子采购平台电子招投标专区（ /rest/index）并在此时间前现场递交单独密封的纸质版投标文件。

4.2 纸质版投标文件递交地点为 大楼一层会议室。逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

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来源：中国电力招标采购网 编辑：365trade.co